Антипов Михаил Николаевич

Алмазосодержащее корпусное устройство для резки полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 12211

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Антипов Михаил Николаевич, Васильев Валерий Лукич, Гайдук Илья Леонидович, Цыбульская Людмила Сергеевна, Гаевская Татьяна Васильевна, Ковальчук Геннадий Филиппович

МПК: H01L 21/02, B28D 5/00

Метки: корпусное, полупроводниковых, резки, устройство, алмазосодержащее, пластин

Текст:

...С и катодной плотности тока 2,0-3,0 А/дм 2 (фигура). Изготовление алмазосодержащего устройства для резки полупроводниковых пластин из кремния и материалов группы А 3 В 5 по данному изобретению включает следующие операции изготовление корпуса из сплава алюминия Д 16 электрохимическое осаждение тонкого слоя меди для обеспечения хорошего качества сцепления последующих нанесенных алмазосодержащих слоев электрохимическое осаждение внешнего...