Алиева Наталья Васильевна

Полевой транзистор с плавающим затвором

Загрузка...

Номер патента: U 9208

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Трусов Виктор Леонидович, Сенько Сергей Федорович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Емельянов Виктор Андреевич, Алиева Наталья Васильевна

МПК: H01L 29/788

Метки: затвором, плавающим, полевой, транзистор

Текст:

...вовсе не присущи 6. Несмотря на небольшое различие в значении коэффициентов линейного термического расширения (клтр) 34 и кремния (3,410-6 -1 для 34 5 и 3,7210-6 -1 для 6), использование высоких температур при изготовлении ИС и отсутствие полиморфных превращений 34 приводят к возникновению высоких механических напряжений на границах раздела слоев. В связи с этим заявляемое техническое решение предусматривает использование тонких...

Конденсатор для интегральных микросхем

Загрузка...

Номер патента: U 9178

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Трусов Виктор Леонидович, Хмыль Александр Александрович, Алиева Наталья Васильевна, Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович, Шикуло Владимир Евгеньевич

МПК: H01L 29/94

Метки: конденсатор, микросхем, интегральных

Текст:

...конденсатора и максимально возможную релаксацию механических напряжений. За счет этого резко снижается дефектность многослойного конденсаторного диэлектрика в целом и повышается воспроизводимость его характеристик. Мягкий пробой конденсаторного диэлектрика исчезает, емкость формируемого конденсатора стабилизируется. В итоге это позволяет уменьшить толщину диэлектрика и уменьшить площадь, занимаемую конденсатором, а также повысить выход...