Агейченко Александр Степанович

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Титко Елена Александровна

МПК: G03B 027/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, фокусировки, устройство

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Конструкция оправы для крепления линз с горизонтальной оптической осью

Загрузка...

Номер патента: U 9887

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Ляшова Любовь Ивановна, Мощеников Владимир Юрьевич, Карповская Татьяна Вячеславовна

МПК: G02B 007/02

Метки: оптической, оправы, горизонтальной, конструкция, линз, осью, крепления

Текст:

...боковой поверхностью оправы 3 и боковой поверхностью линзы 1, радиальную разгрузочную пружину 6, расположенную в нижней части оправы 3. Очередность сборки линзы в оправу следующая. Вначале линза с оправой собирается в положении - оптическая ось вертикально. При этом линза 1 (фиг. 1) своим весом опирается на три возвышающихся платика 2 оправы 3. Наличие только трех опорных зон гарантирует контакт линзы с оправой именно в зонах...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9848

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 17/00, G03F 7/20

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9638

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Крот Вадим Валентинович, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 027/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...

Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии

Загрузка...

Номер патента: 17160

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03F 9/00, G03F 7/20

Метки: устройство, совмещения, оптическое, фотолитографии, установки

Текст:

...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 16195

Опубликовано: 30.08.2012

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G03F 7/20, G02B 27/18

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 8 с длиной волны экспонирования для освещения дифракционного знака совмещения 9, расположенного на координатном столе пластин 4,источник света 10 освещения знака совмещения пластины неэкспонирующим светом длиной волны 2 и источник света 11 освещения знака совмещения ретикла светом с длиной волны экспонирования, расположенные на темнопольном кольцевом осветителе 12. Темнопольный кольцевой осветитель 12 расположен в промежутке...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 7278

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 7222

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Трубчик Иван Трофимович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 6048

Опубликовано: 28.02.2010

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...изображения устройством экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический датчик фокусировки, устройство управления...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич, Аваков Сергей Мирзоевич, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G03F 7/20, G02B 27/18

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 4940

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Курахтина Оксана Викторовна

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...переноса изображения и увеличение производительности устройства экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический...

Устройство для экспонирования толстых слоев фоторезистов

Загрузка...

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Зуев Владимир Павлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: H01L 21/02, G03F 7/20

Метки: толстых, экспонирования, слоев, устройство, фоторезистов

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...

Двухкоординатный стол с линейным шаговым двигателем на воздушной подушке

Загрузка...

Номер патента: U 4640

Опубликовано: 30.08.2008

Авторы: Теплоухов Игорь Семенович, Назаров Юрий Николаевич, Агейченко Александр Степанович, Адзерихо Борис Георгиевич

МПК: H01L 21/00, G01B 11/00, H01H 31/00...

Метки: воздушной, двигателем, линейным, подушке, шаговым, стол, двухкоординатный

Текст:

...пластин (печатных плат или ЖК-дисплеев) с размерами подвижной части более 600 на 600 мм и массой более 25 кг. Высокая стоимость устройства базирования стола обусловлена наличием дополнительного двигателя базирования и устройства управления этим двигателем. Задачей полезной модели является повышение производительности и надежности работы координатного стола, а также удешевление его конструкции. Поставленная задача достигается тем, что...

Способ покадрового экспонирования пластин

Загрузка...

Номер патента: 9959

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Чарлз Као, Матюшков Владимир Егорович, Моррисон Лянг

МПК: G02B 15/00, G03B 27/52

Метки: покадрового, способ, экспонирования, пластин

Текст:

...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Матюшков Владимир Егорович, Тихончук Георгий Иванович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/34, G02B 27/18, G03B 27/42...

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Гуревич Элла Семеновна, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Мощеников Владимир Юрьевич, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G01B 9/02, G03F 7/20

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...

Проекционная система экспонирования с увеличением 1(

Загрузка...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна, Богуш Александр Львович, Тихончук Георгий Иванович, Матюшков Владимир Егорович, Цуран Владимир Ильич

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20, G02B 17/00...

Метки: проекционная, экспонирования, увеличением, система

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Устройство широкоформатного экспонирования

Загрузка...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Забродский Геннадий Анатольевич, Агейченко Александр Степанович, Мельник Сергей Петрович, Райхман Яков Аронович, Мелешко Алексей Вячеславович, Матюшков Владимир Егорович, Сосно Игорь Павлович, Зайцев Валентин Андреевич, Стригельский Виктор Владимирович

МПК: G03F 7/20

Метки: устройство, широкоформатного, экспонирования

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...