Агейченко Александр Степанович

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Титко Елена Александровна, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 027/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Агейченко Александр Степанович, Красневская Юлия Ивановна, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Конструкция оправы для крепления линз с горизонтальной оптической осью

Загрузка...

Номер патента: U 9887

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Мощеников Владимир Юрьевич, Карповская Татьяна Вячеславовна, Ляшова Любовь Ивановна, Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 007/02

Метки: конструкция, оправы, линз, горизонтальной, крепления, осью, оптической

Текст:

...боковой поверхностью оправы 3 и боковой поверхностью линзы 1, радиальную разгрузочную пружину 6, расположенную в нижней части оправы 3. Очередность сборки линзы в оправу следующая. Вначале линза с оправой собирается в положении - оптическая ось вертикально. При этом линза 1 (фиг. 1) своим весом опирается на три возвышающихся платика 2 оправы 3. Наличие только трех опорных зон гарантирует контакт линзы с оправой именно в зонах...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9848

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G03F 7/20, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9638

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Крот Вадим Валентинович

МПК: G03B 027/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...

Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии

Загрузка...

Номер патента: 17160

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03F 9/00, G03F 7/20

Метки: установки, совмещения, устройство, фотолитографии, оптическое

Текст:

...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 16195

Опубликовано: 30.08.2012

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...источник света 8 с длиной волны экспонирования для освещения дифракционного знака совмещения 9, расположенного на координатном столе пластин 4,источник света 10 освещения знака совмещения пластины неэкспонирующим светом длиной волны 2 и источник света 11 освещения знака совмещения ретикла светом с длиной волны экспонирования, расположенные на темнопольном кольцевом осветителе 12. Темнопольный кольцевой осветитель 12 расположен в промежутке...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 7278

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Васильев Алексей Андреевич, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 7222

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Трубчик Иван Трофимович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 6048

Опубликовано: 28.02.2010

Автор: Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: экспонирующая, система, проекционная

Текст:

...изображения устройством экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический датчик фокусировки, устройство управления...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Аваков Сергей Мирзоевич, Васильев Алексей Андреевич, Гуревич Элла Семеновна, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03F 7/20, G02B 27/18

Метки: проекционная, экспонирующая, система

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 4940

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Курахтина Оксана Викторовна

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...переноса изображения и увеличение производительности устройства экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический...

Устройство для экспонирования толстых слоев фоторезистов

Загрузка...

Номер патента: 11179

Опубликовано: 30.10.2008

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Зуев Владимир Павлович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G03F 7/20, H01L 21/02

Метки: экспонирования, толстых, слоев, фоторезистов, устройство

Текст:

...содержит широкополосный источник экспонирующего света, осветительную систему с апертурной диафрагмой, ретикл с топологическим рисунком, полихроматический проекционный объектив с апертурной диафрагмой, координатный стол для размещения экспонируемой пластины, а также первый и второй интерференционные фильтры, установленные в плоскости двух указанных апертурных диафрагм соответственно и выполненные с возможностью задания заранее...

Двухкоординатный стол с линейным шаговым двигателем на воздушной подушке

Загрузка...

Номер патента: U 4640

Опубликовано: 30.08.2008

Авторы: Назаров Юрий Николаевич, Агейченко Александр Степанович, Теплоухов Игорь Семенович, Адзерихо Борис Георгиевич

МПК: G01B 11/00, H01H 31/00, H01L 21/00...

Метки: двухкоординатный, стол, линейным, подушке, шаговым, воздушной, двигателем

Текст:

...пластин (печатных плат или ЖК-дисплеев) с размерами подвижной части более 600 на 600 мм и массой более 25 кг. Высокая стоимость устройства базирования стола обусловлена наличием дополнительного двигателя базирования и устройства управления этим двигателем. Задачей полезной модели является повышение производительности и надежности работы координатного стола, а также удешевление его конструкции. Поставленная задача достигается тем, что...

Способ покадрового экспонирования пластин

Загрузка...

Номер патента: 9959

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Моррисон Лянг, Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович, Чарлз Као

МПК: G02B 15/00, G03B 27/52

Метки: способ, пластин, экспонирования, покадрового

Текст:

...изменяют масштаб проекционного объектива, устраняют ошибки смещения и разворота и производят экспонирование пластины по кадрам полем в виде полосы, длину и ширину которой выбирают равными целому числу топологических модулей, причем максимальную ширину полосыопределяют из выражения где Е - допустимая погрешность совмещения, мкм- максимально возможная разница масштаба пластин по осям Х и , . Суть способа заключается в следующем....

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 9243

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Тихончук Георгий Иванович, Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03B 27/42, G03B 27/34, G02B 27/18...

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...резкого изображения объектива, а фотоприемник со щелевой диафрагмой выполнен с возможностью аттестации с его помощью датчика измерения масштаба проекционного объектива и положения плоскости его резкого изображения. Суть изобретения поясняется чертежами, где 3 9243 1 2007.04.30 на фиг. 1 изображена общая схема проекционной экспонирующей системы на фиг. 2 изображена общая схема дополнительного датчика определения плоскости резкого...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Мощеников Владимир Юрьевич, Гуревич Элла Семеновна, Матюшков Владимир Егорович, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03F 7/20, G01B 9/02

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...

Проекционная система экспонирования с увеличением 1(

Загрузка...

Номер патента: 7267

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Цуран Владимир Ильич, Богуш Александр Львович, Агейченко Александр Степанович, Гуревич Элла Семеновна, Тихончук Георгий Иванович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G02B 27/18, G02B 17/00, G03F 7/20...

Метки: увеличением, система, экспонирования, проекционная

Текст:

...выполнены зеркальными, содержит две двояковыпуклые линзы, расположенные по обе стороны от призменного блока,одна из которых - перед плоскостью предметов, а вторая - перед плоскостью изображений, линза выполнена двояковыпуклой и расположена на расстоянии, составляющем 0,50,8 расстояния от плоскости предметов или плоскости изображений до вогнутого зеркала,двухлинзовый компонент состоит из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и...

Устройство широкоформатного экспонирования

Загрузка...

Номер патента: 2561

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Мельник Сергей Петрович, Райхман Яков Аронович, Агейченко Александр Степанович, Стригельский Виктор Владимирович, Зайцев Валентин Андреевич, Мелешко Алексей Вячеславович, Забродский Геннадий Анатольевич, Сосно Игорь Павлович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G03F 7/20

Метки: экспонирования, широкоформатного, устройство

Текст:

...относительно проекционной системы так, что при его нахождении в центре поля перемещений изображение отстоит от края каретки на расстоянии, равном половине хода координатного стола. Предложенное техническое решение позволяет упростить конструкцию устройства и увеличить размер экспонирующих пластин. Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 - изображена общая схема устройства на фиг.2 - приведен датчик контроля точности поворота...