Патенты с меткой «тонких»

Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур

Загрузка...

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Голосов Дмитрий Анатольевич, Завадский Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/28, H01G 7/06, C23C 14/08...

Метки: пленок, тонких, получения, способ, конденсаторных, структур

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа

Загрузка...

Номер патента: 17897

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Ларькин Андрей Викторович, Федотов Александр Кириллович, Колтунович Томаш, Жуковский Павел Викторович, Максименко Алексей Алексеевич, Федотова Юлия Александровна

МПК: B82Y 30/00, C23C 14/06, C23C 14/46...

Метки: импедансом, тонких, типа, пленок, получения, способ, индуктивного

Текст:

...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...

Способ получения тонких пленок SnS

Загрузка...

Номер патента: 17820

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Башкиров Семен Александрович

МПК: C30B 29/46, C23C 14/24, H01L 31/18...

Метки: получения, тонких, способ, пленок

Текст:

...Сущность изобретения заключается в использовании для переноса паров испаряемого материала к подложке кварцевой трубки с температурой 60010 С. Способ получения пленкивключает следующие стадии получение порошкапутем сплавления олова и серы очистка стеклянной подложки напыление пленки . На первом этапе проводят получение поликристаллического порошкапутем сплавления олова и серы, взятых в стехиометрическом соотношении с точностью до 510-4 г....

Способ осаждения тонких пленок SiGe

Загрузка...

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Солодуха Виталий Александрович, Пшеничный Евгений Николаевич, Комаров Фадей Фадеевич

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205

Метки: пленок, способ, осаждения, тонких

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...

Способ получения тонких пленок ферромолибдата стронция

Загрузка...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Телеш Евгений Владимирович

МПК: H01F 10/10, C23C 14/46, C23C 14/08...

Метки: получения, стронция, ферромолибдата, пленок, способ, тонких

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Устройство для интерферометрического контроля толщины тонких покрытий оптических элементов

Загрузка...

Номер патента: U 7258

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Ропот Петр Иосифович, Горбач Елена Анатольевна, Ропот Алексей Петрович, Васильев Руслан Юрьевич, Шепелевич Василий Васильевич

МПК: G01B 11/06

Метки: покрытий, интерферометрического, элементов, оптических, устройство, контроля, толщины, тонких

Текст:

...крайне сложно. Влияние вибраций можно существенно снизить, выполнив ряд условий. Для этого в первую очередь следует подобрать период интерференционной картины , намного больший средней амплитуды вибраций производственных машин (А), т.е. . Далее, для устранения влияния низкочастотной составляющей при регистрации интерференционной картиныкамерой следует выбрать малое время экспозиции , так чтобы 1/, где- частота основной высокочастотной...

Способ получения тонких пленок сульфоселенида олова

Загрузка...

Номер патента: 14255

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Зарецкая Елена Петровна, Залесский Валерий Борисович

МПК: H01L 31/18, C30B 29/10

Метки: тонких, способ, пленок, сульфоселенида, получения, олова

Текст:

...контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) базового слоя оловаотжиг полученной структуры в парах серы и селена (селенизация/сульфиризация) при атмосферном давлении в потоке азота 2 в реакторной системе. Выбор температурного интервала обусловлен следующими факторами при температуре ниже 150 С происходит термическая диффузия халькогеновив базовый слой олова с образованием многофазной смеси из...

Способ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Барай Сергей Георгиевич, Шевченок Александр Аркадьевич, Ильющенко Александр Федорович, Гулай Анатолий Владимирович

МПК: H01L 21/00, B22F 3/08

Метки: мишени, пленок, распыляемой, осаждения, получения, тонких, способ

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...

Устройство для лазерной обработки тонких листовых материалов

Загрузка...

Номер патента: U 3550

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Рогачев Александр Владимирович, Федосенко Николай Николаевич, Купо Александр Николаевич

МПК: B23K 26/00

Метки: обработки, устройство, лазерной, листовых, материалов, тонких

Текст:

...устройстве лазерную резку осуществляют путем подачи активного газа(например, кислорода) в зону теплового воздействия лазерного излучения, что существенно увеличивает скорость резки. 2 35502007.06.30 Недостатком является невысокое качество кромки получаемых изделий. Необходимое качество изделий достигают путем их последующей обработки (например, шлифовки),что существенно увеличивает энергозатраты и время обработки. В силу изложенных причин...

Способ определения оптических параметров тонких пленок и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 8787

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Примак Игорь Ульянович, Романенко Алексей Андреевич, Глазунов Евгений Валерьевич, Сотский Борис Александрович, Лебединский Юрий Анатольевич, Костюченко Дмитрий Николаевич, Пехтерев Александр Владимирович, Хомченко Александр Васильевич

МПК: G01N 21/55, G01B 11/06, G01N 21/01...

Метки: тонких, пленок, определения, осуществления, параметров, способ, устройство, оптических

Текст:

...пр. Откуда находят показатель преломления п и коэффициент поглощения 1 пленки (п п 11), при этом бп / п 0,02, б 1/1 0,0113.Недостатком известного устройства является то, что измерения связаны с проведением дополнительных измерений на различных призмах. Нахождение угла уо при определенной величине зазора между призмой и пленкой (1 также вызывает затруднения, т.к. необходимо вести сканирование по углу у и в то же время измерять...

Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках

Загрузка...

Номер патента: 6176

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Фролов Игорь Станиславович, Плахотнюк Василий Иванович, Иващенко Сергей Анатольевич, Макаревич Евгений Владимирович

МПК: G01B 11/16

Метки: внутренних, устройство, пленках, напряжений, тонких, измерения

Текст:

...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...

Устройство для нанесения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 6131

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Кузмицкий Антон Михайлович, Авраменко Владимир Борисович, Минько Леонид Яковлевич

МПК: H05H 1/00

Метки: устройство, нанесения, пленок, тонких

Текст:

...камерах. Сущность изобретения поясняется чертежом, где представлен общий вид предлагаемого устройства (фиг. 1). Устройство содержит полый цилиндрический корпус 1, электродные камеры 2, разрядную камеру 3, два электрода 4, расположенные с противоположных сторон цилиндри 2 6131 1 ческого корпуса 1, канал для прохождения разряда 5 и отверстие в боковой поверхности для прохождения плазмы 6, регулятор объема электродных камер 7. Устройство...

Способ получения халькопиритных CuInSe2, Сu (In, Ga) Se2 или CuGaSe2 тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 5894

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Ковалевский Вячеслав Иосифович, Курдесов Федор Васильевич, Залесский Валерий Борисович, Гременок Валерий Феликсович

МПК: H01L 31/18

Метки: cuinse2, cugase2, халькопиритных, пленок, или, тонких, способ, получения

Текст:

...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...

Способ создания конфигурации тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников

Загрузка...

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Лыньков Леонид Михайлович, Петров Николай Петрович, Болдышева Ирина Петровна

МПК: H01L 39/24, H01L 39/22

Метки: сверхпроводников, пленок, способ, конфигурации, тонких, создания, высокотемпературных

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Шевченок Александр Аркадьевич, Колешко Владимир Михайлович, Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна

МПК: C23C 14/34, H01J 37/34, H01J 37/32...

Метки: распыляемых, осаждения, мишеней, способ, тонких, пленок, получения

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...

Способ получения паяемого покрытия на тонких пленках алюминия

Загрузка...

Номер патента: 4492

Опубликовано: 30.06.2002

Авторы: Гринис Лариса Михайловна, Сокол Виталий Александрович

МПК: H01L 21/288

Метки: получения, способ, алюминия, пленках, тонких, покрытия, паяемого

Текст:

...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...

Способ добычи блоков горных пород из тонких пластов и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 3449

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Листопадов Михаил Петрович, Морев Аркадий Борисович, Мякиников Василий Егорович, Смычник Анатолий Дани лович, Калугин Петр Алексеевич

МПК: E21C 47/10, E21C 41/16, E21C 41/26...

Метки: горных, добычи, осуществления, способ, устройство, тонких, блоков, пластов, пород

Текст:

...добычи блоков горных пород, обеспечивающего получение из тонких пластов горных пород готовых строительных изделий в виде блоков серповидной формы для строительства различных сооружений, например из блоков сильвинитового состава- для строительства наземных климатических галокамер (спелеолечебниц), а также обеспечивающего повышение производительности. 2 3449 1 Известно описанное выше устройство для разрушения забоя горной выработки укрепленной...

Устройство для непрерывной экструзии и выдувания тонких пленок пластичного материала

Загрузка...

Номер патента: 1760

Опубликовано: 30.09.1997

Автор: Джанкарло Трамедзани

МПК: B29C 47/38

Метки: пленок, непрерывной, экструзии, материала, выдувания, тонких, устройство, пластичного

Текст:

...В рабочем шнеке 5 экструдера, показанном На фиг. 7,зона В соответствует зоне ввода материала, представляющего собой поливинилхлорид, в порошкообразной форме, смешанньш соулучшенную однородность исходного ма териала вдоль рабочего шнека 5 н с 5 тем, чтобы избежать перегрева и термического повреждения исходного матем риала, СЛЕДУЮЩИЕ две КОНЦЕПЦИИ ЯВЛЯЧ ются исключительно важным. 100 СУЩествляется предварительное сжатие в зоне подачи за счет...