Патенты с меткой «тонких»

Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур

Загрузка...

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Голосов Дмитрий Анатольевич, Каланда Николай Александрович, Завадский Сергей Михайлович, Гурский Леонид Ильич

МПК: H01G 7/06, C23C 14/28, C23C 14/08...

Метки: конденсаторных, пленок, получения, тонких, структур, способ

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа

Загрузка...

Номер патента: 17897

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Федотов Александр Кириллович, Ларькин Андрей Викторович, Федотова Юлия Александровна, Максименко Алексей Алексеевич, Жуковский Павел Викторович, Колтунович Томаш

МПК: C23C 14/06, C23C 14/46, B82Y 30/00...

Метки: тонких, пленок, импедансом, способ, получения, типа, индуктивного

Текст:

...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...

Способ получения тонких пленок SnS

Загрузка...

Номер патента: 17820

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Башкиров Семен Александрович

МПК: C30B 29/46, C23C 14/24, H01L 31/18...

Метки: способ, пленок, получения, тонких

Текст:

...Сущность изобретения заключается в использовании для переноса паров испаряемого материала к подложке кварцевой трубки с температурой 60010 С. Способ получения пленкивключает следующие стадии получение порошкапутем сплавления олова и серы очистка стеклянной подложки напыление пленки . На первом этапе проводят получение поликристаллического порошкапутем сплавления олова и серы, взятых в стехиометрическом соотношении с точностью до 510-4 г....

Способ осаждения тонких пленок SiGe

Загрузка...

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Комаров Фадей Фадеевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич

МПК: H01L 21/205, C23C 16/30

Метки: осаждения, тонких, способ, пленок

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...

Способ получения тонких пленок ферромолибдата стронция

Загрузка...

Номер патента: 14627

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Телеш Евгений Владимирович, Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич

МПК: C23C 14/46, C23C 14/08, H01F 10/10...

Метки: пленок, тонких, получения, стронция, способ, ферромолибдата

Текст:

...пленку 26- на подогреваемую монокристаллическую подложку 3 с ориентацией (001). Новым, по мнению авторов, является то, что для напыления пленок использовали двухлучевой ионный источник, формирующий два независимых ионных пучка, один из которых служит для распыления материала мишени, а второй - для предварительной ионной очистки подложки и мишени, причем напыление пленок ферромолибдата стронция осуществляют в средеионами аргона с одновременной...

Устройство для интерферометрического контроля толщины тонких покрытий оптических элементов

Загрузка...

Номер патента: U 7258

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Васильев Руслан Юрьевич, Ропот Петр Иосифович, Горбач Елена Анатольевна, Ропот Алексей Петрович, Шепелевич Василий Васильевич

МПК: G01B 11/06

Метки: устройство, контроля, интерферометрического, оптических, элементов, тонких, покрытий, толщины

Текст:

...крайне сложно. Влияние вибраций можно существенно снизить, выполнив ряд условий. Для этого в первую очередь следует подобрать период интерференционной картины , намного больший средней амплитуды вибраций производственных машин (А), т.е. . Далее, для устранения влияния низкочастотной составляющей при регистрации интерференционной картиныкамерой следует выбрать малое время экспозиции , так чтобы 1/, где- частота основной высокочастотной...

Способ получения тонких пленок сульфоселенида олова

Загрузка...

Номер патента: 14255

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Залесский Валерий Борисович, Зарецкая Елена Петровна, Гременок Валерий Феликсович

МПК: C30B 29/10, H01L 31/18

Метки: пленок, получения, тонких, способ, олова, сульфоселенида

Текст:

...контактом) различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) базового слоя оловаотжиг полученной структуры в парах серы и селена (селенизация/сульфиризация) при атмосферном давлении в потоке азота 2 в реакторной системе. Выбор температурного интервала обусловлен следующими факторами при температуре ниже 150 С происходит термическая диффузия халькогеновив базовый слой олова с образованием многофазной смеси из...

Способ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Шевченок Александр Аркадьевич, Барай Сергей Георгиевич, Ильющенко Александр Федорович, Гулай Анатолий Владимирович

МПК: H01L 21/00, B22F 3/08

Метки: мишени, тонких, осаждения, пленок, получения, способ, распыляемой

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...

Устройство для лазерной обработки тонких листовых материалов

Загрузка...

Номер патента: U 3550

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Рогачев Александр Владимирович, Федосенко Николай Николаевич, Купо Александр Николаевич

МПК: B23K 26/00

Метки: листовых, тонких, лазерной, материалов, устройство, обработки

Текст:

...устройстве лазерную резку осуществляют путем подачи активного газа(например, кислорода) в зону теплового воздействия лазерного излучения, что существенно увеличивает скорость резки. 2 35502007.06.30 Недостатком является невысокое качество кромки получаемых изделий. Необходимое качество изделий достигают путем их последующей обработки (например, шлифовки),что существенно увеличивает энергозатраты и время обработки. В силу изложенных причин...

Способ определения оптических параметров тонких пленок и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 8787

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Сотский Борис Александрович, Романенко Алексей Андреевич, Примак Игорь Ульянович, Хомченко Александр Васильевич, Пехтерев Александр Владимирович, Лебединский Юрий Анатольевич, Глазунов Евгений Валерьевич, Костюченко Дмитрий Николаевич

МПК: G01B 11/06, G01N 21/01, G01N 21/55...

Метки: оптических, пленок, устройство, определения, осуществления, способ, тонких, параметров

Текст:

...пр. Откуда находят показатель преломления п и коэффициент поглощения 1 пленки (п п 11), при этом бп / п 0,02, б 1/1 0,0113.Недостатком известного устройства является то, что измерения связаны с проведением дополнительных измерений на различных призмах. Нахождение угла уо при определенной величине зазора между призмой и пленкой (1 также вызывает затруднения, т.к. необходимо вести сканирование по углу у и в то же время измерять...

Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках

Загрузка...

Номер патента: 6176

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Макаревич Евгений Владимирович, Фролов Игорь Станиславович, Плахотнюк Василий Иванович, Иващенко Сергей Анатольевич

МПК: G01B 11/16

Метки: пленках, устройство, измерения, тонких, напряжений, внутренних

Текст:

...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...

Устройство для нанесения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 6131

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Авраменко Владимир Борисович, Кузмицкий Антон Михайлович, Минько Леонид Яковлевич

МПК: H05H 1/00

Метки: устройство, нанесения, пленок, тонких

Текст:

...камерах. Сущность изобретения поясняется чертежом, где представлен общий вид предлагаемого устройства (фиг. 1). Устройство содержит полый цилиндрический корпус 1, электродные камеры 2, разрядную камеру 3, два электрода 4, расположенные с противоположных сторон цилиндри 2 6131 1 ческого корпуса 1, канал для прохождения разряда 5 и отверстие в боковой поверхности для прохождения плазмы 6, регулятор объема электродных камер 7. Устройство...

Способ получения халькопиритных CuInSe2, Сu (In, Ga) Se2 или CuGaSe2 тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 5894

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Залесский Валерий Борисович, Гременок Валерий Феликсович, Курдесов Федор Васильевич, Ковалевский Вячеслав Иосифович

МПК: H01L 31/18

Метки: получения, способ, пленок, или, cugase2, халькопиритных, cuinse2, тонких

Текст:

...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...

Способ создания конфигурации тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников

Загрузка...

Номер патента: 5926

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Петров Николай Петрович, Болдышева Ирина Петровна, Лыньков Леонид Михайлович

МПК: H01L 39/22, H01L 39/24

Метки: конфигурации, пленок, способ, тонких, высокотемпературных, создания, сверхпроводников

Текст:

...(380-390 кг силы/см 2) водорода в течение 0,5 ч при (300-350 С), а также то, что в качестве тугоплавкого металла используетсяс примесью(0,8-0,85 вес.). Сущность данного изобретения заключается в том, что термообработка в паро-водородной среде приводит к образованию гидридов тугоплавкого металла, изменению структуры пленки и нарушению целостности слоя. Это способствует более полному удалению окисленного слоя тугоплавкого металла и дает...

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Колешко Владимир Михайлович, Шевченок Александр Аркадьевич, Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна

МПК: H01J 37/34, H01J 37/32, C23C 14/34...

Метки: способ, тонких, получения, пленок, распыляемых, осаждения, мишеней

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...

Способ получения паяемого покрытия на тонких пленках алюминия

Загрузка...

Номер патента: 4492

Опубликовано: 30.06.2002

Авторы: Гринис Лариса Михайловна, Сокол Виталий Александрович

МПК: H01L 21/288

Метки: алюминия, получения, тонких, паяемого, способ, пленках, покрытия

Текст:

...осаждения никеля вводят фторид натрия или калия и создают слабокислую среду с рН 3,5-5 введением аминоуксусной кислоты. Аминоуксусная кислота является также комплексообразующим агентом, связывающим ионы никеля в растворимые комплексы и регулирующим скорость контактного обмена алюминия на никель. Контактное осаждение никеля проводят в водном растворе, содержащем соль никеля в количестве 20-60 г/л, натрий фтористый или калий фтористый в...

Способ добычи блоков горных пород из тонких пластов и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 3449

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Смычник Анатолий Дани лович, Калугин Петр Алексеевич, Мякиников Василий Егорович, Листопадов Михаил Петрович, Морев Аркадий Борисович

МПК: E21C 41/16, E21C 41/26, E21C 47/10...

Метки: блоков, способ, пород, тонких, горных, добычи, пластов, устройство, осуществления

Текст:

...добычи блоков горных пород, обеспечивающего получение из тонких пластов горных пород готовых строительных изделий в виде блоков серповидной формы для строительства различных сооружений, например из блоков сильвинитового состава- для строительства наземных климатических галокамер (спелеолечебниц), а также обеспечивающего повышение производительности. 2 3449 1 Известно описанное выше устройство для разрушения забоя горной выработки укрепленной...

Устройство для непрерывной экструзии и выдувания тонких пленок пластичного материала

Загрузка...

Номер патента: 1760

Опубликовано: 30.09.1997

Автор: Джанкарло Трамедзани

МПК: B29C 47/38

Метки: непрерывной, материала, пластичного, тонких, пленок, устройство, экструзии, выдувания

Текст:

...В рабочем шнеке 5 экструдера, показанном На фиг. 7,зона В соответствует зоне ввода материала, представляющего собой поливинилхлорид, в порошкообразной форме, смешанньш соулучшенную однородность исходного ма териала вдоль рабочего шнека 5 н с 5 тем, чтобы избежать перегрева и термического повреждения исходного матем риала, СЛЕДУЮЩИЕ две КОНЦЕПЦИИ ЯВЛЯЧ ются исключительно важным. 100 СУЩествляется предварительное сжатие в зоне подачи за счет...