Патенты с меткой «поликристаллического»

Способ удаления фоторезиста после плазмохимического травления поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 18444

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Цивако Алексей Александрович, Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна

МПК: B08B 3/02, H01L 21/02

Метки: способ, удаления, плазмохимического, травления, после, кремния, поликристаллического, фоторезиста

Текст:

...обработкой в течение 3-7 мин выполняют аэрозольную обработку в смеси, содержащей аммиак, перекись водорода и нагретую от 80 до 90 С деионизованную воду при следующих расходах компонентов, л/мин аммиак 0,125-0,250 перекись водорода 0,2-0,3 вода деионизованная 1,3-2,0. Использования идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения поставленной задачи не обнаружено. 18444 1 2014.08.30 При обработке пластин в...

Способ реставрации пластин с пленкой поликристаллического кремния при изготовлении интегральных микросхем

Загрузка...

Номер патента: 18443

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна

МПК: H01L 21/311

Метки: пленкой, микросхем, способ, поликристаллического, реставрации, интегральных, изготовлении, пластин, кремния

Текст:

...проводят удаление углеродсодержащих остатков в кислородной плазме в течение 15-40 с, проводят очистку в перекисно-аммиачном растворе и проводят химическое травление остаточной пленки поликристаллического кремния при температуре 55-65 С в течение 10-20 мин в растворе, содержащем аммиак водный,хлористый аммоний и воду при следующем соотношении компонентов, мас.аммиак водный (в пересчете на 3) 15-80 хлорид аммония 0,04-2,0 вода остальное....

Способ синтеза поликристаллического сверхтвердого материала на основе кубического нитрида бора

Загрузка...

Номер патента: 18274

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Сенють Владимир Тадеушевич, Валькович Игорь Владимирович, Кучинский Владимир Михайлович

МПК: C23C 16/22, B01J 3/06, C01B 21/064...

Метки: синтеза, нитрида, кубического, бора, основе, поликристаллического, материала, способ, сверхтвердого

Текст:

...инструмента на их основе. Техническим результатом изобретения является снижение давления фазового превращения в кубическую модификацию , повышение дисперсности зерен КНБ, равномерное распределение частиц тугоплавких соединений по объему материала, снижение их размеров. Указанная задача решается в способе синтеза поликристаллического сверхтвердого материала на основе КНБ, при котором смешивают порошок гексагонального нитрида бора с 0,5-10...

Способ получения поликристаллического кобальтита неодима-бария NdBaCo2O5,72

Загрузка...

Номер патента: 17414

Опубликовано: 30.08.2013

Автор: Лобановский Леонид Сергеевич

МПК: C04B 35/32, C04B 35/50, C04B 35/626...

Метки: получения, неодима-бария, способ, кобальтита, поликристаллического, ndbaco2o5,72

Текст:

...до 95010 С, выдерживают 12020 мин, охлаждают со скоростью 10010 С/мин до комнатной температуры. Сущность изобретения состоит в том, что получение поликристаллического кобальтита неодима-бария в соответствии с предлагаемым способом осуществляют в течение одного этапа нагревания-охлаждения. Для получения кобальтита неодима-бария используют исходные компоненты - оксиды кобальта и неодима и карбонат бария. Путем растворения исходных...

Способ получения поликристаллического алюмобората иттрия со структурой хантита.

Загрузка...

Номер патента: 16458

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Малашкевич Георгий Ефимович, Шишко Галина Викентьевна, Шевченко Гвидона Петровна

МПК: C09K 11/80, C09K 11/63

Метки: поликристаллического, иттрия, получения, алюмобората, способ, структурой, хантита

Текст:

...тушением люминесценции. Задачей предлагаемого изобретения является разработка способа синтеза нанокристаллического хантита с активирующими добавками без использования органических реагентов и связанного с ними неконтролируемого восстановления активаторов и повышенного содержания примесных фаз. Для решения поставленной задачи использовали коллоидно-химический способ синтеза через соосаждение гидроксидов из водных растворов с...

Способ получения поликристаллического сверхтвердого материала на основе наноалмазов

Загрузка...

Номер патента: 16118

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Жорник Виктор Иванович, Сенють Владимир Тадеушевич, Маркова Людмила Владимировна, Витязь Петр Александрович

МПК: B01J 3/06, C30B 29/04

Метки: основе, получения, способ, сверхтвердого, материала, поликристаллического, наноалмазов

Текст:

...соединений, химически и физически адсорбированной воды, которые препятствуют уплотнению порошка при прессованиии и термобарическом спекании. При давлении вакуумного отжига выше 1,3310-9 ГПа и длительности отжига менее 0,5 ч не происходит достаточно полной десорбции кислородсодержащих соединений с поверхности порошка. Кроме того, при указанном давлении отжига также происходит окисление наноалмазов из-за присутствия остаточного...

Способ получения поликристаллического изделия

Загрузка...

Номер патента: 13989

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Гордеев Сергей Константинович, Жук Андрей Евгеньевич, Ковалевская Анна Викторовна, Ковалевский Виктор Николаевич, Григорьев Сергей Владимирович, Корчагина Светлана Борисовна

МПК: B82B 3/00, C30B 29/10, B22F 3/08...

Метки: изделия, поликристаллического, способ, получения

Текст:

...кремния, в качестве алмазных кристаллов используют ультрадисперсные алмазы с размерами частиц 20-90 нм, кроме того, термообработанную в условиях, обеспечивающих удаление связки, заготовку вакуумируют, уплотняют взрывом и подвергают термобарическому спеканию, а на поверхность ультрадисперсных алмазов путем магнетронного распыления кремния наносят покрытие толщиной 10-20 нм. Заявляемый способ обеспечивает получение пористого...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала

Загрузка...

Номер патента: 14073

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Аниченко Николай Георгиевич, Ракицкая Людмила Иосифовна

МПК: C04B 35/583, C30B 29/10, C04B 35/528...

Метки: сверхтвердого, композиционного, материала, получения, шихта, поликристаллического

Текст:

...карбид бора инициируют превращение графита в алмаз. Образующиеся в межзеренном пространстве алмаз и кубический нитрид бора связывают отдельные зерна между собой, образуя жесткий каркас,пустоты в котором заполнены продуктами взаимодействия - , , 4. При отклонении от указанных в формуле соотношений компонент шихты поставленная задача не достигается. При содержании в шихте графита и/или ГНБ менее 2 мас.снижается прочность поликристаллов ввиду...

Способ получения поликристаллического феррита кальция

Загрузка...

Номер патента: 13986

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Труханов Сергей Валентинович, Лобановский Леонид Сергеевич

МПК: C04B 35/26, C30B 29/10

Метки: получения, способ, поликристаллического, кальция, феррита

Текст:

...железа и карбоната кальция для получения прекурсора 225 рассчитывают согласно следующей химической формуле 232322522.(1) Помол исходных компонентов проводят до получения гомогенного состояния с размером частиц не более 40 мкм. Синтез шихты проводят при температуре 900-950 С в течение 6-8 часов в воздушной среде. Скорость нагрева и охлаждения исходных компонентов до и после синтеза значения не имеет. Полученный таким образом прекурсор 225...

Способ получения поликристаллического алмазосодержащего материала

Загрузка...

Номер патента: 13664

Опубликовано: 30.10.2010

Авторы: Витязь Петр Александрович, Гамеза Людмила Михайловна, Целуевский Михаил Станиславович, Кучинский Владимир Михайлович, Сенють Владимир Тадеушевич

МПК: C09K 3/14, C04B 35/528, C04B 35/583...

Метки: поликристаллического, способ, получения, материала, алмазосодержащего

Текст:

...бора 10-60 алюминий 1-10 карбид титана 1-5 алмаз остальное,причем размер зерен компонентов шихты составляет менее 5 мкм, а обработку ведут при давлении 4,5 - 8,0 ГПа и температуре 1400-1800 С в течение 12-30 секунд. Улучшение свойств композиционного материала в значительной степени достигается благодаря тому, что в качестве основы, кроме микропорошков алмаза, входят микропорошки кубического нитрида бора с размерами менее 5 мкм, а в качестве...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала

Загрузка...

Номер патента: 13181

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Петрашко Василий Васильевич, Шишонок Николай Александрович

МПК: C04B 35/528, B01J 3/06, C30B 29/04...

Метки: поликристаллического, сверхтвердого, материала, шихта, получения, композиционного

Текст:

...образованию межзеренных связей. Известно, что поверхность алмаза является гидрофобной и практически не смачивается расплавами многих металлов(алюминия и магния, в частности), и только введение в шихту титана обеспечивает ее полное смачивание. На практике это означает, что процессы межфазного взаимодействия в системе алмаз - эвтектический сплав будут протекать более интенсивно. Повышение температуры до 11001250 С приводит к тому, что расплав...

Способ осаждения пленки полуизолирующего поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 12058

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Турцевич Аркадий Степанович, Соловьев Ярослав Александрович, Наливайко Олег Юрьевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович

МПК: H01L 21/02, B05D 5/12, C23C 16/455...

Метки: полуизолирующего, осаждения, пленки, кремния, поликристаллического, способ

Текст:

...Данные загрязнения формируются при межоперационном хранении кремниевых пластин с кристаллами ИСМЭ (от очистки поверхности кремния до начала осаждения пленки ППК) и обусловливают катастрофическое увеличение поверхностной проводимости кремния. Причиной их возникновения является наличие оборванных связей атомов кремния на поверхности, что усиливает адсорбцию поверхностных загрязнений. Формирование относительно тонкого слоя химического оксида...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала

Загрузка...

Номер патента: 11734

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Шишонок Николай Александрович, Леусенко Анатолий Алексеевич, Петрашко Василий Васильевич

МПК: C30B 29/04, B01J 3/06

Метки: сверхтвердого, материала, поликристаллического, шихта, получения, композиционного

Текст:

...действие, препятствующее обратному фазовому превращению алмаз - графит. Содержание алмаза в щихте(8093 ) позволяет получить максимальные прочностные характеристики, так как в этом случае в поликристалле образуется алмазный каркас. При меньщем содержании алмаза указанного сплощного каркаса не формируется, поэтому механические свойства поликристалла снижаются. Введение в щихту бора или алюминия в количестве, меньщем 1 мас. , не...

Состав для травления пленок поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 11821

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович, Иванчиков Александр Эдуардович, Плебанович Владимир Иванович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/02

Метки: поликристаллического, состав, кремния, пленок, травления

Текст:

...Закачать с помошью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем аммиака водного (25 ).2.3. Закачать с помошью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем воды.2.4. Взвесить расчетную массу хлорида аммония и высыпать в бак установки приготовления растворов.Оптимальные пределы концентраций основных компонентов заявляемого состава подтверждены примерами.Для приготовления заявляемого состава были...

Способ получения поликристаллического материала на основе кубического нитрида бора

Загрузка...

Номер патента: 10582

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Грицук Виталий Дмитриевич, Ковалева Светлана Анатольевна, Гамеза Людмила Михайловна, Валькович Игорь Владимирович, Сенють Владимир Тадеушевич

МПК: B01J 3/06, C04B 35/583

Метки: получения, поликристаллического, бора, нитрида, основе, кубического, способ, материала

Текст:

...проскальзыванием, коагуляцией (агрегированием) и жидкоподобной коалесценцией(слиянием). В результате наблюдаются такие явления, как локализация плотности получаемой заготовки с образованием поликристаллических частиц от субмикронных до микронных размеров, а также выдавливание мелких пор и их слияние в крупные. Качество получаемого материала при этом невысокое. Использование высоких давлений свыше 7 ГПа при спекании непосредственно нано-...

Способ формирования слоев поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 8758

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Шкуратов Александр Георгиевич

МПК: H01L 21/365, C23C 16/24

Метки: кремния, способ, формирования, слоев, поликристаллического

Текст:

...то обеспечивается термическая однородность. Осаждение поликремния осуществляется только после вывода реактора на второй уровень температуры, чем обеспечивается минимальный разброс температуры как вдоль реактора, так и по поверхности пластин и, следовательно, повышается стабильность и воспроизводимость процесса осаждения по толщине слоя поликристаллического кремния. При высокой скорости подъема температуры (более 9 С/мин) термическая...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала на основе алмаза и кубического нитрида бора

Загрузка...

Номер патента: 7925

Опубликовано: 30.04.2006

Авторы: Леусенко Анатолий Алексеевич, Косарев Олег Михайлович, Гатальский Геннадий Васильевич, Шишонок Николай Александрович

МПК: C01B 31/06, C01B 21/064

Метки: получения, бора, кубического, сверхтвердого, поликристаллического, основе, материала, алмаза, нитрида, шихта, композиционного

Текст:

...7 мас. , падает износостойкость поликристалла,а при малом (менее 7 мас. ) содержании нитрида бора уменьшается его работоспособность из-за снижения эффекта самозатачивания. Сущность изобретения не нарушается, если в шихту вводится не алюминий, а нитрид алюминия или его смесь с алюминием. Высокая каталитическая активность нитрида алюминия позволяет эффективно осуществить фазовое превращение в нитриде бора с таким 2 7925 1 2006.04.30 же...

Способ изготовления поликристаллического материала на основе алмаза

Загрузка...

Номер патента: 6645

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Сенють Владимир Тадеушевич, Устинова Галина Петровна, Звонарев Евгений Владимирович

МПК: C01B 31/06

Метки: изготовления, алмаза, основе, поликристаллического, материала, способ

Текст:

...материала на основе алмаза, включающего смешивание ультрадисперсных порошков алмаза с графитом при соотношении компонентов шихты(мас. ) УДА 60-80 графит остальное,формирование из полученной смеси заготовки и ее обработку при воздействии высоких давления и температуры, обработку заготовки осуществляют при давлении 4,0-4,5 ГПа,температуре 1300-1350 С и времени выдержки 10-15 с. Характеристики порошка, используемого для спекания,...

Способ изготовления обкладки конденсатора из поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 3148

Опубликовано: 30.12.1999

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Довнар Николай Александрович, Красницкий Василий Яковлевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/308

Метки: поликристаллического, кремния, изготовления, конденсатора, обкладки, способ

Текст:

...слоя нанесение дополнительного слоя поликристаллического кремния создание выступов травлением дополнительного слоя через фоторезистивную маску формирование контактного окна к подложке во вспомогательном защитном и диэлектрическом слоях осаждение слоя поликристаллического кремния формирование обкладки удаление вспомогательного слоя. Из-за того, что после удаления вспомогательного слоя между сформированной обкладкой и поверхностью...