Патенты с меткой «поликристаллического»

Способ удаления фоторезиста после плазмохимического травления поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 18444

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Цивако Алексей Александрович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: H01L 21/02, B08B 3/02

Метки: плазмохимического, поликристаллического, способ, кремния, удаления, фоторезиста, травления, после

Текст:

...обработкой в течение 3-7 мин выполняют аэрозольную обработку в смеси, содержащей аммиак, перекись водорода и нагретую от 80 до 90 С деионизованную воду при следующих расходах компонентов, л/мин аммиак 0,125-0,250 перекись водорода 0,2-0,3 вода деионизованная 1,3-2,0. Использования идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения поставленной задачи не обнаружено. 18444 1 2014.08.30 При обработке пластин в...

Способ реставрации пластин с пленкой поликристаллического кремния при изготовлении интегральных микросхем

Загрузка...

Номер патента: 18443

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: H01L 21/311

Метки: изготовлении, поликристаллического, пластин, кремния, способ, реставрации, интегральных, пленкой, микросхем

Текст:

...проводят удаление углеродсодержащих остатков в кислородной плазме в течение 15-40 с, проводят очистку в перекисно-аммиачном растворе и проводят химическое травление остаточной пленки поликристаллического кремния при температуре 55-65 С в течение 10-20 мин в растворе, содержащем аммиак водный,хлористый аммоний и воду при следующем соотношении компонентов, мас.аммиак водный (в пересчете на 3) 15-80 хлорид аммония 0,04-2,0 вода остальное....

Способ синтеза поликристаллического сверхтвердого материала на основе кубического нитрида бора

Загрузка...

Номер патента: 18274

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Кучинский Владимир Михайлович, Сенють Владимир Тадеушевич, Валькович Игорь Владимирович

МПК: B01J 3/06, C23C 16/22, C01B 21/064...

Метки: синтеза, сверхтвердого, основе, способ, кубического, поликристаллического, материала, бора, нитрида

Текст:

...инструмента на их основе. Техническим результатом изобретения является снижение давления фазового превращения в кубическую модификацию , повышение дисперсности зерен КНБ, равномерное распределение частиц тугоплавких соединений по объему материала, снижение их размеров. Указанная задача решается в способе синтеза поликристаллического сверхтвердого материала на основе КНБ, при котором смешивают порошок гексагонального нитрида бора с 0,5-10...

Способ получения поликристаллического кобальтита неодима-бария NdBaCo2O5,72

Загрузка...

Номер патента: 17414

Опубликовано: 30.08.2013

Автор: Лобановский Леонид Сергеевич

МПК: C04B 35/50, C04B 35/32, C04B 35/626...

Метки: поликристаллического, неодима-бария, получения, ndbaco2o5,72, кобальтита, способ

Текст:

...до 95010 С, выдерживают 12020 мин, охлаждают со скоростью 10010 С/мин до комнатной температуры. Сущность изобретения состоит в том, что получение поликристаллического кобальтита неодима-бария в соответствии с предлагаемым способом осуществляют в течение одного этапа нагревания-охлаждения. Для получения кобальтита неодима-бария используют исходные компоненты - оксиды кобальта и неодима и карбонат бария. Путем растворения исходных...

Способ получения поликристаллического алюмобората иттрия со структурой хантита.

Загрузка...

Номер патента: 16458

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Шишко Галина Викентьевна, Шевченко Гвидона Петровна, Малашкевич Георгий Ефимович

МПК: C09K 11/80, C09K 11/63

Метки: поликристаллического, иттрия, структурой, получения, хантита, алюмобората, способ

Текст:

...тушением люминесценции. Задачей предлагаемого изобретения является разработка способа синтеза нанокристаллического хантита с активирующими добавками без использования органических реагентов и связанного с ними неконтролируемого восстановления активаторов и повышенного содержания примесных фаз. Для решения поставленной задачи использовали коллоидно-химический способ синтеза через соосаждение гидроксидов из водных растворов с...

Способ получения поликристаллического сверхтвердого материала на основе наноалмазов

Загрузка...

Номер патента: 16118

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Сенють Владимир Тадеушевич, Витязь Петр Александрович, Маркова Людмила Владимировна, Жорник Виктор Иванович

МПК: C30B 29/04, B01J 3/06

Метки: способ, получения, поликристаллического, основе, материала, сверхтвердого, наноалмазов

Текст:

...соединений, химически и физически адсорбированной воды, которые препятствуют уплотнению порошка при прессованиии и термобарическом спекании. При давлении вакуумного отжига выше 1,3310-9 ГПа и длительности отжига менее 0,5 ч не происходит достаточно полной десорбции кислородсодержащих соединений с поверхности порошка. Кроме того, при указанном давлении отжига также происходит окисление наноалмазов из-за присутствия остаточного...

Способ получения поликристаллического изделия

Загрузка...

Номер патента: 13989

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Ковалевский Виктор Николаевич, Жук Андрей Евгеньевич, Корчагина Светлана Борисовна, Гордеев Сергей Константинович, Григорьев Сергей Владимирович, Ковалевская Анна Викторовна

МПК: B82B 3/00, C30B 29/10, B22F 3/08...

Метки: получения, поликристаллического, способ, изделия

Текст:

...кремния, в качестве алмазных кристаллов используют ультрадисперсные алмазы с размерами частиц 20-90 нм, кроме того, термообработанную в условиях, обеспечивающих удаление связки, заготовку вакуумируют, уплотняют взрывом и подвергают термобарическому спеканию, а на поверхность ультрадисперсных алмазов путем магнетронного распыления кремния наносят покрытие толщиной 10-20 нм. Заявляемый способ обеспечивает получение пористого...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала

Загрузка...

Номер патента: 14073

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Аниченко Николай Георгиевич, Ракицкая Людмила Иосифовна

МПК: C30B 29/10, C04B 35/583, C04B 35/528...

Метки: шихта, композиционного, получения, сверхтвердого, материала, поликристаллического

Текст:

...карбид бора инициируют превращение графита в алмаз. Образующиеся в межзеренном пространстве алмаз и кубический нитрид бора связывают отдельные зерна между собой, образуя жесткий каркас,пустоты в котором заполнены продуктами взаимодействия - , , 4. При отклонении от указанных в формуле соотношений компонент шихты поставленная задача не достигается. При содержании в шихте графита и/или ГНБ менее 2 мас.снижается прочность поликристаллов ввиду...

Способ получения поликристаллического феррита кальция

Загрузка...

Номер патента: 13986

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Труханов Сергей Валентинович, Лобановский Леонид Сергеевич

МПК: C04B 35/26, C30B 29/10

Метки: кальция, феррита, поликристаллического, получения, способ

Текст:

...железа и карбоната кальция для получения прекурсора 225 рассчитывают согласно следующей химической формуле 232322522.(1) Помол исходных компонентов проводят до получения гомогенного состояния с размером частиц не более 40 мкм. Синтез шихты проводят при температуре 900-950 С в течение 6-8 часов в воздушной среде. Скорость нагрева и охлаждения исходных компонентов до и после синтеза значения не имеет. Полученный таким образом прекурсор 225...

Способ получения поликристаллического алмазосодержащего материала

Загрузка...

Номер патента: 13664

Опубликовано: 30.10.2010

Авторы: Гамеза Людмила Михайловна, Целуевский Михаил Станиславович, Сенють Владимир Тадеушевич, Кучинский Владимир Михайлович, Витязь Петр Александрович

МПК: C09K 3/14, C04B 35/583, C04B 35/528...

Метки: поликристаллического, материала, алмазосодержащего, способ, получения

Текст:

...бора 10-60 алюминий 1-10 карбид титана 1-5 алмаз остальное,причем размер зерен компонентов шихты составляет менее 5 мкм, а обработку ведут при давлении 4,5 - 8,0 ГПа и температуре 1400-1800 С в течение 12-30 секунд. Улучшение свойств композиционного материала в значительной степени достигается благодаря тому, что в качестве основы, кроме микропорошков алмаза, входят микропорошки кубического нитрида бора с размерами менее 5 мкм, а в качестве...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала

Загрузка...

Номер патента: 13181

Опубликовано: 30.04.2010

Авторы: Петрашко Василий Васильевич, Шишонок Николай Александрович

МПК: C30B 29/04, C04B 35/528, B01J 3/06...

Метки: получения, сверхтвердого, шихта, композиционного, материала, поликристаллического

Текст:

...образованию межзеренных связей. Известно, что поверхность алмаза является гидрофобной и практически не смачивается расплавами многих металлов(алюминия и магния, в частности), и только введение в шихту титана обеспечивает ее полное смачивание. На практике это означает, что процессы межфазного взаимодействия в системе алмаз - эвтектический сплав будут протекать более интенсивно. Повышение температуры до 11001250 С приводит к тому, что расплав...

Способ осаждения пленки полуизолирующего поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 12058

Опубликовано: 30.06.2009

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович

МПК: H01L 21/02, C23C 16/455, B05D 5/12...

Метки: способ, полуизолирующего, кремния, осаждения, пленки, поликристаллического

Текст:

...Данные загрязнения формируются при межоперационном хранении кремниевых пластин с кристаллами ИСМЭ (от очистки поверхности кремния до начала осаждения пленки ППК) и обусловливают катастрофическое увеличение поверхностной проводимости кремния. Причиной их возникновения является наличие оборванных связей атомов кремния на поверхности, что усиливает адсорбцию поверхностных загрязнений. Формирование относительно тонкого слоя химического оксида...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала

Загрузка...

Номер патента: 11734

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Петрашко Василий Васильевич, Леусенко Анатолий Алексеевич, Шишонок Николай Александрович

МПК: C30B 29/04, B01J 3/06

Метки: сверхтвердого, материала, получения, шихта, композиционного, поликристаллического

Текст:

...действие, препятствующее обратному фазовому превращению алмаз - графит. Содержание алмаза в щихте(8093 ) позволяет получить максимальные прочностные характеристики, так как в этом случае в поликристалле образуется алмазный каркас. При меньщем содержании алмаза указанного сплощного каркаса не формируется, поэтому механические свойства поликристалла снижаются. Введение в щихту бора или алюминия в количестве, меньщем 1 мас. , не...

Состав для травления пленок поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 11821

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович, Плебанович Владимир Иванович, Иванчиков Александр Эдуардович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/02

Метки: кремния, состав, поликристаллического, травления, пленок

Текст:

...Закачать с помошью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем аммиака водного (25 ).2.3. Закачать с помошью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем воды.2.4. Взвесить расчетную массу хлорида аммония и высыпать в бак установки приготовления растворов.Оптимальные пределы концентраций основных компонентов заявляемого состава подтверждены примерами.Для приготовления заявляемого состава были...

Способ получения поликристаллического материала на основе кубического нитрида бора

Загрузка...

Номер патента: 10582

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Сенють Владимир Тадеушевич, Грицук Виталий Дмитриевич, Гамеза Людмила Михайловна, Валькович Игорь Владимирович, Ковалева Светлана Анатольевна

МПК: C04B 35/583, B01J 3/06

Метки: получения, основе, кубического, нитрида, способ, поликристаллического, бора, материала

Текст:

...проскальзыванием, коагуляцией (агрегированием) и жидкоподобной коалесценцией(слиянием). В результате наблюдаются такие явления, как локализация плотности получаемой заготовки с образованием поликристаллических частиц от субмикронных до микронных размеров, а также выдавливание мелких пор и их слияние в крупные. Качество получаемого материала при этом невысокое. Использование высоких давлений свыше 7 ГПа при спекании непосредственно нано-...

Способ формирования слоев поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 8758

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Шкуратов Александр Георгиевич, Ануфриев Леонид Петрович, Турцевич Аркадий Степанович, Глухманчук Владимир Владимирович

МПК: H01L 21/365, C23C 16/24

Метки: способ, формирования, слоев, поликристаллического, кремния

Текст:

...то обеспечивается термическая однородность. Осаждение поликремния осуществляется только после вывода реактора на второй уровень температуры, чем обеспечивается минимальный разброс температуры как вдоль реактора, так и по поверхности пластин и, следовательно, повышается стабильность и воспроизводимость процесса осаждения по толщине слоя поликристаллического кремния. При высокой скорости подъема температуры (более 9 С/мин) термическая...

Шихта для получения поликристаллического композиционного сверхтвердого материала на основе алмаза и кубического нитрида бора

Загрузка...

Номер патента: 7925

Опубликовано: 30.04.2006

Авторы: Леусенко Анатолий Алексеевич, Гатальский Геннадий Васильевич, Косарев Олег Михайлович, Шишонок Николай Александрович

МПК: C01B 31/06, C01B 21/064

Метки: кубического, композиционного, основе, поликристаллического, шихта, алмаза, нитрида, получения, бора, материала, сверхтвердого

Текст:

...7 мас. , падает износостойкость поликристалла,а при малом (менее 7 мас. ) содержании нитрида бора уменьшается его работоспособность из-за снижения эффекта самозатачивания. Сущность изобретения не нарушается, если в шихту вводится не алюминий, а нитрид алюминия или его смесь с алюминием. Высокая каталитическая активность нитрида алюминия позволяет эффективно осуществить фазовое превращение в нитриде бора с таким 2 7925 1 2006.04.30 же...

Способ изготовления поликристаллического материала на основе алмаза

Загрузка...

Номер патента: 6645

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Устинова Галина Петровна, Сенють Владимир Тадеушевич, Звонарев Евгений Владимирович

МПК: C01B 31/06

Метки: способ, материала, поликристаллического, изготовления, алмаза, основе

Текст:

...материала на основе алмаза, включающего смешивание ультрадисперсных порошков алмаза с графитом при соотношении компонентов шихты(мас. ) УДА 60-80 графит остальное,формирование из полученной смеси заготовки и ее обработку при воздействии высоких давления и температуры, обработку заготовки осуществляют при давлении 4,0-4,5 ГПа,температуре 1300-1350 С и времени выдержки 10-15 с. Характеристики порошка, используемого для спекания,...

Способ изготовления обкладки конденсатора из поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 3148

Опубликовано: 30.12.1999

Авторы: Красницкий Василий Яковлевич, Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Довнар Николай Александрович

МПК: H01L 21/308

Метки: конденсатора, обкладки, поликристаллического, кремния, изготовления, способ

Текст:

...слоя нанесение дополнительного слоя поликристаллического кремния создание выступов травлением дополнительного слоя через фоторезистивную маску формирование контактного окна к подложке во вспомогательном защитном и диэлектрическом слоях осаждение слоя поликристаллического кремния формирование обкладки удаление вспомогательного слоя. Из-за того, что после удаления вспомогательного слоя между сформированной обкладкой и поверхностью...