Патенты с меткой «подложки»

Устройство для нанесения покрытий конденсацией вещества в вакууме на плоские подложки

Загрузка...

Номер патента: 18351

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич, Саевич Леонтий Михайлович

МПК: C23C 14/50, C23C 14/00

Метки: плоские, конденсацией, покрытий, нанесения, подложки, устройство, вещества, вакууме

Текст:

...планшет для обрабатываемой подложки, удерживаемый горизонтально благодаря контакту с наклонной направляющей, а также соединенный с указанными передачами и управляемый микропроцессором системы управления шаговый двигатель, выполненный с возможностью последовательного вывода всех планшетов, общим числом более двух, из указанного зацепления посредством управляемого натяжения указанных цепей для поочередного перевода планшетов вместе с...

Устройство для формирования покрытий конденсацией вещества в вакууме на плоские подложки

Загрузка...

Номер патента: U 9424

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Саевич Леонтий Михайлович, Суворов Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, подложки, формирования, устройство, вещества, плоские, конденсацией, покрытий

Текст:

...количеством планшетов и выбранным кодом Кодовое управление заключается в том, что соосно со звездочкой ведущей цепной передачи и шаговым двигателем крепится кодовый диск, представляющий собой диск из тонколистового материала с прорезанными в нем сегментными отверстиями в соответствии с количеством планшетов и выбранным кодом (в данном случае код Грэя). Вращение оси с диском осуществляется шаговым двигателем при подаче на него импульсов с...

Способ сканирования образца в виде подложки с покрытием на сканирующем зондовом микроскопе

Загрузка...

Номер патента: 16535

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Худолей Андрей Леонидович, Чижик Сергей Антонович

МПК: G01Q 10/00, G01Q 20/00

Метки: покрытием, виде, образца, способ, сканирующем, зондовом, микроскопе, сканирования, подложки

Текст:

...сканером, измеряют расстояние зонд-образец для различных точек поверхности образца, а формирование изображения поверхности производят путем определения и вычитания постоянного наклона и постоянной составляющей, корректировки и фильтрации данных,полученных с помощью сканирующего зондового микроскопа. Существенным недостатком известного способа является отсутствие возможности формирования достоверного изображения поверхности образца,...

Устройство для нанесения покрытий конденсацией вещества в вакууме на плоские подложки

Загрузка...

Номер патента: U 8621

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Андреев Михаил Анатольевич, Саевич Леонтий Михайлович, Суворов Анатолий Николаевич

МПК: C23C 14/00

Метки: вакууме, вещества, устройство, конденсацией, подложки, плоские, нанесения, покрытий

Текст:

...и более планшетами с плоскими подложками. На рисунке представлена схема предлагаемого устройства. Устройство содержит корпус-вакуумную камеру 1, электрод токопроводящий из испаряемого металла 2, вращающийся стол 3. На столе 3 установлен корпус 4 оснастки. Корпус 4 расположен по отношению к электроду токопроводящему из испаряемого металла 2 таким образом, что ось электрода токопроводящего из испаряемого металла 2 перпендикулярна плоскости...

Способ создания окисной пленки на поверхности полупроводниковой либо металлической подложки

Загрузка...

Номер патента: 14296

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Жорник Виктор Иванович, Петлицкая Татьяна Владимировна, Пилипенко Владимир Александрович, Витязь Петр Александрович, Ковалева Светлана Анатольевна

МПК: B82B 3/00, C25D 11/02

Метки: окисной, либо, полупроводниковой, способ, металлической, создания, пленки, подложки, поверхности

Текст:

...например монокристаллического кремния, эпитаксиальные пленки кремния, а также поликристаллический кремний, алюминий и др. Сущность изобретения поясняется прилагаемыми фигурами. Фиг. 1 - блок-схема для реализации предлагаемого способа на основе атомно-силового микроскопа (АСМ). Фиг. 2 - АСМ 3 - изображение топографии поверхности монокристаллического кремния КДБ-12 (111) с локальной окисной пленкой, полученной после первого этапа сканирования...

Способ травления кремниевой подложки

Загрузка...

Номер патента: 13528

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Звонова Ольга Сергеевна, Русальская Тамара Георгиевна, Табулина Людмила Васильевна, Баранов Игорь Ливерьевич

МПК: H01L 21/02, C25F 3/00

Метки: способ, кремниевой, травления, подложки

Текст:

...0,5-1,14, 1,01,75 и 0,07-0,14 СВ-1017, и подключают ее к электрической цепи с плотностью протекающего через подложку анодного тока в интервале 50-75 мА/см 2. При анодной обработке в электролитических растворах, содержащих плавиковую кислоту, на поверхности кремниевой подложки протекают следующие реакции электрохимическая реакция образования бифторида кремния(1)22 е 22 химическое восстановление кремния из бифторида кремния(3) 4226...

Способ нанесения пленки молибдена на полупроводниковые подложки

Загрузка...

Номер патента: 9957

Опубликовано: 30.12.2007

Авторы: Портнов Лев Яковлевич, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Соловьев Ярослав Александрович, Баранов Валентин Владимирович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35

Метки: полупроводниковые, способ, молибдена, нанесения, подложки, пленки

Текст:

...подложке и ухудшению стабильности ее структуры и воспроизводимости электрофизических свойств, снижению выхода годных ИСМЭ. Мощность магнетронного разряда однозначно определяет скорость нанесения пленки,а, следовательно, ее структуру и электрофизические свойства. При мощности распыления менее 0,7 кВт наблюдается увеличение растягивающих механических напряжений, что приводит к ухудшению адгезии пленок, а, следовательно, стабильности их...

Композиция покрытия, упаковка, подложка с покрытием, способ получения подложки, способ получения композиции покрытия.

Загрузка...

Номер патента: 6329

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: О`БРАЙЕН, Дебора А., ГЕРМАНО, Виктор В., ГУДЕ, Дональд Дж., ДОРСЕТТ, Терри Е., ГУНН, Вальтер Х.

МПК: C09D 5/02, C09D 163/10, B05D 7/14...

Метки: подложка, получения, подложки, композиция, упаковка, покрытием, композиции, покрытия, способ

Текст:

...может присутствовать или отсутствовать, может содержать такие ингредиенты в следующих весовых процентах, все из расчета на основе 100 полного веса упаковки от 0 до около 15 загустителя, от около 15 до около 60 силана, от 0 до около 10(как правило, от около 2 до около 6 ) компонента борной кислоты, от 0 до около 5 ингибитора коррозии, от около 10 до около 30 смачивающего агента и остальное, например, от около 20 до около 30 , -...