Патенты с меткой «плавающим»

Полевой транзистор с плавающим затвором

Загрузка...

Номер патента: U 9208

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович, Алиева Наталья Васильевна, Сенько Сергей Федорович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Трусов Виктор Леонидович

МПК: H01L 29/788

Метки: плавающим, затвором, полевой, транзистор

Текст:

...вовсе не присущи 6. Несмотря на небольшое различие в значении коэффициентов линейного термического расширения (клтр) 34 и кремния (3,410-6 -1 для 34 5 и 3,7210-6 -1 для 6), использование высоких температур при изготовлении ИС и отсутствие полиморфных превращений 34 приводят к возникновению высоких механических напряжений на границах раздела слоев. В связи с этим заявляемое техническое решение предусматривает использование тонких...