Патенты с меткой «отражательной»

Оптико-электронное устройство контроля отражательной дифракционной оптики

Загрузка...

Номер патента: U 9260

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Лявшук Ирена Александровна, Ляликов Александр Михайлович

МПК: G01B 9/00

Метки: устройство, контроля, оптико-электронное, дифракционной, отражательной, оптики

Текст:

...системой формирования зондирующего светового пучка установлен модулятор амплитуды, управляемый электронным блоком, при этом блок обработки сигналов и индикации соединен с электронным блоком управления модулятора амплитуды. Новые признаки в совокупности с известными позволяют решить задачу - регулировать пороговую чувствительность процедуры контроля, например оставляя ее постоянной в широком диапазоне изменения величины периода структуры. На...