Патенты с меткой «ортофосфорной»

Способ регенерации раствора ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 14499

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Карпович Дмитрий Викторович, Вечер Дмитрий Вячеславович, Плебанович Владимир Иванович, Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Иванчиков Александр Эдуардович

МПК: C23F 1/46

Метки: способ, кислоты, раствора, ортофосфорной, регенерации

Текст:

...Регенерация раствора ортофосфорной кислоты выполнялась путем периодической подачи воды в отработанный раствор, охлажденный до температуры (905) С и непрерывно циркулирующий в течение 2-2,5 ч. Затем производился нагрев восстановленного раствора 34 до температуры (1605) С и выполнялся процесс травления пленки нитрида кремния. Результаты представлены в табл. 3. Пример 4. Для проведения регенерации по заявляемому способу был выбран...

Состав для регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 8579

Опубликовано: 30.10.2006

Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Иванчиков Александр Эдуардович, Гладкова Людмила Владимировна, Турыгин Анатолий Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/306

Метки: состав, основе, регенерации, ортофосфорной, травителя, кислоты

Текст:

...автоматизированной установке 2.1. Рассчитать объем и массу компонентов для приготовления заданного объема состава, исходя из соотношения компонентов, указанного в формуле гексафторосиликат аммония 0,3-1,0 г/л вода остальное. 2.2. Закачать с помощью насоса в бак установки приготовления растворов расчетный объем воды. 2.3. Взвесить расчетную массу гексафторосиликата аммония и высыпать в бак установки приготовления растворов. 2.4. Перемешать...

Способ очистки ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 3682

Опубликовано: 30.12.2000

Авторы: Иванов Геннадий Иванович, Довнар Николай Александрович, Кукреш Анна Брониславовна, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: C01B 25/235

Метки: очистки, способ, кислоты, ортофосфорной

Текст:

...полной или частичной закупорки, частыми остановками процесса для замены фильтров или их очистки от твердой фазы. В основу изобретения положена задача создания высокопроизводительного, пригодного для серийного промышленного производства способа очистки ортофосфорной кислоты за счет уменьшения вязкости и повышения скорости фильтрации, исключения закупорки пор фильтров твердой фазой и частых остановок по этой причине процесса очистки...

Способ регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 3417

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Курганович Александр Александрович, Иванчиков Александр Эдуардович, Кисель Анатолий Михайлович, Довнар Николай Александрович

МПК: H01L 21/306, C23F 1/46

Метки: способ, кислоты, травителя, ортофосфорной, основе, регенерации

Текст:

...осуществляют путем добавления в отработанный травитель 0,1-0,2 об. ч. воды, нагревания до температуры 90-100 С и выдержки при этой температуре не менее 1 ч. Как показали эксперименты, 0,1-0,2 об. ч. воды достаточно для обратного превращения пирофосфорной кислоты в ортофосфорную. Уменьшение количества воды, добавляемой в травитель, менее 0,1 об. ч. не позволяет всю пирофосфорную кислоту перевести в ортофосфорную, а увеличение количества воды,...