Патенты с меткой «обкладки»

Способ изготовления обкладки конденсатора из поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 3148

Опубликовано: 30.12.1999

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Красницкий Василий Яковлевич, Довнар Николай Александрович, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 21/308

Метки: обкладки, способ, кремния, поликристаллического, изготовления, конденсатора

Текст:

...слоя нанесение дополнительного слоя поликристаллического кремния создание выступов травлением дополнительного слоя через фоторезистивную маску формирование контактного окна к подложке во вспомогательном защитном и диэлектрическом слоях осаждение слоя поликристаллического кремния формирование обкладки удаление вспомогательного слоя. Из-за того, что после удаления вспомогательного слоя между сформированной обкладкой и поверхностью...