Патенты с меткой «мозаичная»

Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени

Загрузка...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович

МПК: H01J 23/00, C23C 14/35

Метки: пленочных, способ, мишени, мозаичная, ионно-плазменного, изготовления, покрытий, многокомпонентных, нанесения, магнетронного, мишень

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...