Патенты с меткой «монокристаллического»

Способ контроля качества поверхности пластины монокристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 18135

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66

Метки: контроля, качества, монокристаллического, кремния, поверхности, способ, пластины

Текст:

...газофазного химического осаждения пленку диоксида кремния (2) толщиной 1-2 мкм, удаляют часть осажденной пленки диоксида кремния до толщины 0,3-0,6 мкм методом химико-механической планаризации(ХМП), осуществляют визуальный контроль пластины и по полученной цветовой интерференционной картине на поверхности пластины судят о качества ее поверхности. Заявляемый способ отличается от известного тем, что он позволяет одновременно...

Способ получения монокристаллического антимонида марганца

Загрузка...

Номер патента: 17952

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Шёлковая Татьяна Васильевна, Трухан Владимир Михайлович, Изотов Александр Дмитриевич, Маренкин Сергей Федорович, Малышев Максим Леонидович

МПК: C30B 21/02, C01G 45/00, C30B 29/10...

Метки: антимонида, получения, марганца, монокристаллического, способ

Текст:

...размер монокристаллов ,диаметр которых уменьшается с ростом скорости кристаллизации от 20 до 0,5 мкм. Длина монокристаллов наоборот увеличивается от 100 до 300 мкм. Полученный таким образом направленно закристаллизованный сплав после охлаждения печи извлекают из ампулы и подвергают магнитной сепарации с целью извлечения ферромагнитных монокристаллов антимонида марганца. На дифракционной картине скола (фиг. 1) видно, что эвтектическая...

Способ формирования пленок бинарных полупроводниковых соединений групп AІІBVІ или AІVBVІ на подложках из монокристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 17212

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Чубенко Евгений Борисович, Бондаренко Виталий Парфирович, Клышко Алексей Александрович

МПК: C25D 9/08, C30B 29/10, H01L 21/02...

Метки: монокристаллического, aііbvі, подложках, кремния, формирования, или, бинарных, пленок, способ, соединений, полупроводниковых, групп, aіvbvі

Текст:

...Для улучшения равномерности осаждения и повышения планарности пленок полупроводниковых соединений на пористый кремний методом катодного электрохимического осаждения может быть нанесен тонкий слой металла толщиной 0,01-0,5 мкм. Наличие тонкого слоя металла на поверхности пористого кремния приводит к повышению эквипотенциальности и равномерности распределения катодного тока в процессе осаждения. В качестве таких металлов могут быть...

Стабилизирующая добавка для абразивных суспензий на основе оксида алюминия для шлифовки пластин монокристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 10513

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Косенок Янина Александровна, Мельниченко Игорь Михайлович, Гайшун Владимир Евгеньевич, Тюленкова Ольга Ивановна

МПК: C09G 1/00

Метки: пластин, кремния, добавка, основе, алюминия, абразивных, стабилизирующая, суспензий, оксида, монокристаллического, шлифовки

Текст:

...и эксплутационных характеристик абразивной суспензии. Известен также состав, включающий в себя глицерин, дистиллированную воду, карбоксиполиметилен и триэтаноламин 3. Однако данный состав не обеспечивает необходимое качество шлифования пластин монокристаллического кремния, поскольку содержит до 25 глицерина. Заявляемое изобретение решает задачу получения высокоэффективной стабилизирующей добавки для абразивной суспензии на...

Ахроматическое двухкомпонентное просветляющее покрытие для оптического элемента из монокристаллического дифосфида кадмия тетрагональной модификации

Загрузка...

Номер патента: 10304

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Голякевич Татьяна Васильевна, Мица Александр Владимирович, Шелег Александр Устинович, Трухан Владимир Михайлович, Фекешгази Иштван Винцеевич

МПК: G02B 1/10, G02B 5/28

Метки: покрытие, оптического, элемента, модификации, ахроматическое, дифосфида, монокристаллического, двухкомпонентное, тетрагональной, просветляющее, кадмия

Текст:

...луча и от 3,35 до 3,00 для необыкновенного луча, которая обеспечила повышение пропускания оптических элементов из 2(т) до уровня свыше 99,90 в диапазоне от 550 до 1100 нм. Ахроматическое двухкомпонентное просветляющее покрытие для оптического элемента из монокристаллического дифосфида кадмия тетрагональной модификации, содержащее четыре чередующихся слоя с низким и высоким показателями преломления из диоксида кремния и диоксида циркония...