Патенты с меткой «микрорельефа»

Способ планаризации микрорельефа при изготовлении интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 13309

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович, Родин Георгий Федорович

МПК: H01L 21/02, H01L 21/70

Метки: способ, интегральных, планаризации, микрорельефа, изготовлении, схем

Текст:

...Вт/см 2 до вскрытия диэлектрических слоев на планарной поверхности подложки. Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено. Нанесение слоя жидкого стекла на центрифуге, толщиной над планарными поверхностями 0,250,35 мкм планаризует микрорельеф над канавками. Применение жидкого стекла, толщиной более 0,35 мкм нецелесообразно, так как повышения процента выхода годных интегральных схем не...

Бор для создания микрорельефа зуба на поверхности пломбы или керамической коронки

Загрузка...

Номер патента: 6699

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Новак Наталья Владимировна, Луцкая Ирина Константиновна

МПК: A61C 3/02

Метки: или, бор, зуба, керамической, коронки, микрорельефа, создания, пломбы, поверхности

Текст:

...керамической коронки, который соответствует естественному микрорельефу зуба. Поставленная задача достигается следующим образом. Предложен бор для создания микрорельефа зуба на поверхности пломбы или керамической коронки, содержащий цилиндрическую рабочую часть и хвостовик, при этом на рабочую часть бора нанесена кольцами, расстояние между которыми 80-100 микрометров(мкм), алмазная крошка, размер которой составляет 30 мкм. Заявляемое устройство...