Патенты с меткой «микрорельефа»

Способ планаризации микрорельефа при изготовлении интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 13309

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Родин Георгий Федорович, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: H01L 21/70, H01L 21/02

Метки: микрорельефа, способ, схем, изготовлении, интегральных, планаризации

Текст:

...Вт/см 2 до вскрытия диэлектрических слоев на планарной поверхности подложки. Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено. Нанесение слоя жидкого стекла на центрифуге, толщиной над планарными поверхностями 0,250,35 мкм планаризует микрорельеф над канавками. Применение жидкого стекла, толщиной более 0,35 мкм нецелесообразно, так как повышения процента выхода годных интегральных схем не...

Бор для создания микрорельефа зуба на поверхности пломбы или керамической коронки

Загрузка...

Номер патента: 6699

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Луцкая Ирина Константиновна, Новак Наталья Владимировна

МПК: A61C 3/02

Метки: керамической, коронки, микрорельефа, пломбы, или, зуба, бор, создания, поверхности

Текст:

...керамической коронки, который соответствует естественному микрорельефу зуба. Поставленная задача достигается следующим образом. Предложен бор для создания микрорельефа зуба на поверхности пломбы или керамической коронки, содержащий цилиндрическую рабочую часть и хвостовик, при этом на рабочую часть бора нанесена кольцами, расстояние между которыми 80-100 микрометров(мкм), алмазная крошка, размер которой составляет 30 мкм. Заявляемое устройство...