Патенты с меткой «ионно-плазменного»

Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени

Загрузка...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович

МПК: H01J 23/00, C23C 14/35

Метки: нанесения, покрытий, изготовления, способ, мозаичная, пленочных, магнетронного, ионно-плазменного, мишень, мишени, многокомпонентных

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...

Катодный узел для ионно-плазменного нанесения пленок

Загрузка...

Номер патента: 6143

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Каморников Игорь Михайлович, Пиун Виктор Михайлович, Малащенко Алексей Терентьевич

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35

Метки: ионно-плазменного, пленок, катодный, узел, нанесения

Текст:

...кольцеобразной пластины. В соответствии с изобретением улучшается не только охлаждение катода-мишени, но и постоянного магнита. Создание камеры охлаждения, согласно предложенному, и выполнение катода-мишени и держателя в виде пластин обеспечивает интенсивное охлаждение катода-мишени, за счет эффективного теплоотвода от катода-мишени через пластинудержатель, с одной стороны, и эффективное охлаждение магнитных наконечников и магнитопровода...