Патенты с меткой «фокусировки»

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10346

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Титко Елена Александровна, Есьман Василий Михайлович, Крот Вадим Валентинович

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, фокусировки, автоматической

Текст:

...рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с описанными в 1, 2, но его точность ограничивается тем, что на поверхность подложки строится одна линия, изображение которой искажается рельефом топологии подложки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Титко Елена Александровна, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 027/42

Метки: автоматической, устройство, фокусировки

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Корнелюк Александр Иванович, Агейченко Александр Степанович, Красневская Юлия Ивановна

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9848

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9638

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Крот Вадим Валентинович, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 027/42

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Есьман Василий Михайлович, Красневская Юлия Ивановна, Орлова Татьяна Львовна

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...

Устройство для обнаружения ошибки фокусировки светового потока

Загрузка...

Номер патента: U 8129

Опубликовано: 30.04.2012

Автор: Яничкин Валентин Викторович

МПК: G01N 21/01

Метки: устройство, ошибки, обнаружения, потока, фокусировки, светового

Текст:

...выход формирователя первой производной соединен со входом формирователя строб-импульсов, информационным входом амплитудного детектора первой произ 2 81292012.04.30 водной переднего фронта, информационным входом амплитудного детектора первой производной заднего фронта выход формирователя строб-импульсов, соответствующий переднему фронту, соединен со стробирующим входом амплитудного детектора первой производной переднего фронта. Выход...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 6302

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Окорок Анатолий Григорьевич, Стасевич Михаил Николаевич

МПК: G03B 27/42, G02B 7/28

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...когерентным излучением приводит к интерференции пучков в пленках технологических слоев,2 63022010.06.30 снижению их мощности, искажению формы и, как следствие, к погрешности отсчета фокусировки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния топологии и технологических слоев на погрешность отсчета плоскости фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что...

Способ определения ошибки фокусировки светового потока и устройство для его реализации

Загрузка...

Номер патента: 10876

Опубликовано: 30.08.2008

Авторы: Чиграй Виктор Владимирович, Яничкин Валентин Викторович

МПК: G01M 11/02, G01N 21/01

Метки: потока, ошибки, реализации, определения, способ, устройство, фокусировки, светового

Текст:

...переднего модулятора, а задний фронт - кромкой щели заднего модулятора, анализируют первые производные фронтов и по амплитудам первых производных определяют ошибку фокусировки. Анализ положения точки фокусировки относительно заданной плоскости по амплитудам первых производных позволяет повысить точность, т.к. на величину первых производных не влияет ширина щели, а влияет только качество кромки щели, которое легко обеспечить в производственных...

Устройство для дискретного изменения направления визирной оси и фокусировки прицела

Загрузка...

Номер патента: U 4370

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Тареев Анатолий Михайлович, Синаторов Михаил Петрович, Барцевич Александр Михайлович, Батюшков Валентин Вениаминович

МПК: G02B 7/04, G02B 7/18

Метки: визирной, оси, направления, дискретного, устройство, изменения, фокусировки, прицела

Текст:

...но и тепловизионного прицела для его выверки относительно орудия танка, что обеспечивает повышение точности стрельбы из него. На фиг. 1 представлена принципиальная схема устройства для дискретного изменения направления визирной оси и фокусировки прицела в составе танкового прицела, на фиг. 2 2 43702008.04.30 показана принципиальная схема перемещения оптического модуля устройства в два фиксированных положения, на фиг. 3 показан вид...