Оптико-электронное устройство контроля отражательной дифракционной оптики

Номер патента: U 9260

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Лявшук Ирена Александровна, Ляликов Александр Михайлович

Скачать PDF файл.

Текст

Смотреть все

(51) МПК НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ОТРАЖАТЕЛЬНОЙ ДИФРАКЦИОННОЙ ОПТИКИ(71) Заявитель Учреждение образования Гродненский государственный университет имени Янки Купалы(72) Авторы Лявшук Ирэна Александровна Ляликов Александр Михайлович(73) Патентообладатель Учреждение образования Гродненский государственный университет имени Янки Купалы(57) Оптико-электронное устройство контроля отражательной дифракционной оптики, включающее источник света с оптической системой формирования коллимированного зондирующего светового пучка, содержащей микрообъектив, коллимирующий объектив, фильтрующую диафрагму, контролируемый элемент дифракционной оптики, установленный по ходу зондирующего пучка, оптическую систему пространственной фильтрации, состоящую из первого объектива и непрозрачной нити, установленной в задней фокальной плоскости первого объектива, приемную систему, включающую фотоприемник, блок обработки сигналов и индикации, соединенный с фотоприемником, второй объектив, установленный между непрозрачной нитью и фотоприемником, отличающееся тем, что на выходе источника света перед оптической системой формирования зондирующего светового пучка установлен модулятор амплитуды, управляемый электронным блоком, при этом блок обработки сигналов и индикации соединен с электронным блоком управления модулятора амплитуды. Полезная модель относится к области лазерной измерительной техники, в частности к устройствам контроля различных параметров периодических структур, и может быть использована в оптическом производстве при контроле качества элементов дифракционной оптики. 92602013.06.30 Известно оптико-электронное устройство контроля качества дифракционной оптики, в частности отражательного типа, включающее источник света с оптической системой формирования коллимированного зондирующего светового пучка, контролируемый элемент дифракционной оптики, установленный по ходу зондирующего пучка, оптическую систему пространственной фильтрации в виде первого объектива и непрозрачной нити, установленной в задней фокальной плоскости первого объектива, приемную систему, включающую фотоприемник, блок обработки сигналов и индикации, соединенный с фотоприемником,второй объектив, установленный между непрозрачной нитью и фотоприемником 1. Данное техническое решение выбрано в качестве прототипа. Недостатком известного технического решения является зависимость пороговой чувствительности контроля элементов дифракционной оптики от величины периода структуры. С увеличением периода пороговая чувствительность уменьшается. Техническая задача, на решение которой направлена данная полезная модель, заключается в создании устройства, позволяющего регулировать пороговую чувствительность процедуры контроля. Сущность полезной модели заключается в том, что оптико-электронное устройство контроля отражательной дифракционной оптики, включающее источник света с оптической системой формирования коллимированного зондирующего светового пучка, содержащей микрообъектив, коллимирующий объектив, фильтрующую диафрагму, контролируемый элемент дифракционной оптики, установленный по ходу зондирующего пучка, оптическую систему пространственной фильтрации в виде первого объектива и непрозрачной нити, установленной в задней фокальной плоскости первого объектива, приемную систему, включающую фотоприемник, блок обработки сигналов и индикации, соединенный с фотоприемником, второй объектив, установленный между непрозрачной нитью и фотоприемником, с целью регулирования пороговой чувствительности процедуры контроля дополнено новыми признаками на выходе источника света перед оптической системой формирования зондирующего светового пучка установлен модулятор амплитуды, управляемый электронным блоком, при этом блок обработки сигналов и индикации соединен с электронным блоком управления модулятора амплитуды. Новые признаки в совокупности с известными позволяют решить задачу - регулировать пороговую чувствительность процедуры контроля, например оставляя ее постоянной в широком диапазоне изменения величины периода структуры. На фигуре изображена оптическая схема заявляемого оптико-электронного устройства контроля отражательной дифракционной оптики. Оптико-электронное устройство контроля элементов дифракционной оптики включает источник света 1, оптическую систему формирования коллимированного зондирующего светового пучка в виде микрообъектива 2 и коллимирующего объектива 3, фильтрующей диафрагмы 4. Фильтрующая диафрагма 4 установлена в задней фокальной плоскости микрообъектива 2. Контролируемый элемент 5 отражательной дифракционной оптики установлен по ходу зондирующего пучка. Устройство содержит оптическую систему пространственной фильтрации в виде первого 6 объектива и непрозрачной нити 7, установленной в задней фокальной плоскости первого 6 объектива. Приемная система включает фотоприемник 8,блок обработки сигналов и индикации 9, соединенный с фотоприемником 8, второй объектив 10, установленный между непрозрачной нитью 7 и фотоприемником 8. На выходе источника света 1 перед оптической системой формирования зондирующего светового пучка 2-4 установлен модулятор амплитуды 11, управляемый электронным блоком 12. Блок обработки сигналов и индикации 9 соединен с электронным блоком 12 управления модулятора амплитуды. Регулирование пороговой чувствительности контроля в оптико-электронном устройстве контроля отражательной дифракционной оптики осуществляется следующим образом. При контроле качества элементов отражательной дифракционной оптики, например 2 92602013.06.30 дифракционных решеток, контролируемый элемент 5 устанавливают в устройство таким образом, чтобы излучение, распространяющееся в первый порядок дифракции на дифракционном элементе, объективом 6 фокусировалось на непрозрачную нить 7. Дифракционный максимум, сформированный в задней фокальной плоскости первого объектива 6,перекрывается непрозрачной нитью 7. Толщина непрозрачной нити 7 определяется параметрами контроля отклонения периода отражательного дифракционного элемента от эталонного значения. Световые пучки, дифрагированные на зонах дифракционного элемента,в которых период превышает установленную норму, будут проходить мимо непрозрачной нити 7 и вторым объективом 10 фокусироваться на фотоприемнике 8. Световые пучки,дифрагированные на зонах контролируемого элемента 5, при величине периода структуры, соответствующей норме, будут задерживаться непрозрачной нитью 7. Таким образом,мерой соответствия дифракционного элемента норме может быть величина светового потока, сформированного на фотоприемнике 8. Для регулирования пороговой чувствительности контроля модулятором амплитуды 11 модулируют во времени интенсивность света,поступающего на контролируемый элемент 5 дифракционной оптики, таким образом,чтобы с изменением периода Т дифракционной структуры изменялась частотавременной модуляции по линейному закону,где- коэффициент пропорциональности. Световой поток, изменяющийся во времени с частотой , поступает на фотоприемник 8 и преобразуется в электрический сигнал, который поступает в блок обработки сигналов и индикации 9, где обрабатывается. Блок обработки сигналов и индикации 9 выдает результат контроля соответствия контролируемого элемента 5 норме соответствует или не соответствует норме. Постоянство пороговой чувствительности контроля обеспечивается управлением блока обработки и индикации 9 через электронный блок 12 рабочей частотой модулятора амплитуды 11. Таким образом, полезная модель позволяет регулировать пороговую чувствительность процедуры контроля, например оставляя ее постоянной в широком диапазоне изменения величины периода структуры. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3

МПК / Метки

МПК: G01B 9/00

Метки: контроля, оптико-электронное, отражательной, оптики, устройство, дифракционной

Код ссылки

<a href="http://bypatents.com/3-u9260-optiko-elektronnoe-ustrojjstvo-kontrolya-otrazhatelnojj-difrakcionnojj-optiki.html" rel="bookmark" title="База патентов Беларуси">Оптико-электронное устройство контроля отражательной дифракционной оптики</a>

Похожие патенты