Скачать PDF файл.

Текст

Смотреть все

(12) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ(71) Заявитель Государственное научное учреждение Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси(72) Авторы Чижик Сергей Антонович Абетковская Светлана Олеговна Кузнецова Татьяна Анатольевна Жданок Сергей Александрович(73) Патентообладатель Государственное научное учреждение Институт теплои массообмена им. А.В. Лыкова Национальной академии наук Беларуси(57) Зонд для атомно-силового микроскопа, имеющий острие с определенным радиусом закругления, отличающийся тем, что острие зонда снабжено углеродной нанотрубкой. Полезная модель относится к области нанотехнологий, в частности к зондам для атомно-силовых микроскопов, в том числе к зондам, восстановленным после использования, и может найти применение в сканирующей зондовой микроскопии. Известен зонд для атомно-силовой микроскопии (, 2003. , , . . 33. Каталог Кантилеверы и решетки компании Микромаш). Зонд представляет собой кремниевое конусообразное острие, покрытое слоем кобальта и слоем хрома. Острие зонда имеет определенный радиус закругления и в 30042006.08.30 процессе измерения исследуемого образца перемещается по его поверхности. При этом вертикальная координата острия зонда фиксируется датчиками, а две горизонтальные координаты задаются управляющим компьютером в процессе сканирования. Сигнал обрабатывается электронной системой и передается компьютеру для дальнейшего представления полученных данных в графическом виде. Недостатком указанных зондов с покрытием является достаточно большой радиус закругления. Причем радиус закругления острия увеличивается в процессе использования зонда, когда происходит износ острия. При этом снижается качество (разрешение) изображений, получаемых при использовании зонда в атомно-силовой микроскопии, становится невозможным распознание элементов поверхностей исследуемых материалов, имеющих латеральные размеры менее десяти нанометров. Кроме того, стоимость зонда в настоящее время достаточно велика. Задачей предлагаемого технического решения является повышение качества изображений атомно-силовой микроскопии за счет уменьшения радиуса закругления острия зонда. Задача решается следующим образом. В известном зонде для атомно-силовой микроскопии, имеющем острие с определенным радиусом закругления, согласно предлагаемому техническому решению, острие зонда снабжено углеродной нанотрубкой. Расположение на острие зонда нанотрубки приводит к тому, что радиус закругления острия зонда уменьшается. Кроме того, изношенные зонды, имеющие острие с большим радиусом закругления, могут быть использованы многократно, после того как будут снабжены углеродной нанотрубкой. В результате такого модифицирования изношенный или первоначально недостаточно острый зонд станет более эффективным, т.к. является, по сути, зондом,имеющим радиус закругления острия, меньший по сравнению с исходным зондом. Таким образом, наличие нанотрубки на острие зонда приводит к улучшению разрешающей способности атомно-силового микроскопа, использующего модифицированный зонд. На фигуре показана схема общего вида зонда в увеличенном масштабе. Вершина острия зонда 1, нового или восстанавливаемого, снабжена углеродной нанотрубкой 2, обеспечивающей уменьшение радиуса закругления острия зонда 1. Зонд для атомно-силового микроскопа работает следующим образом. Зонд, установленный в приборе, перемещается по поверхности исследуемого образца, находясь в контакте с образцом (в статическом режиме работы). Вертикальная координата острия зонда фиксируется датчиками, а две горизонтальные координаты задаются управляющим компьютером в процессе сканирования. Сигнал обрабатывается электронной системой и компьютером и выводится на экран компьютера в виде графического изображения. Малый радиус (несколько десятков нанометров) закругления острия зонда позволяет разрешать наноразмерные особенности рельефа поверхности образца. Наличие нанотрубки на острие зонда дает практически постоянный, малый радиус закругления острия зонда. Это обеспечивает более высокое разрешение атомно-силового микроскопа, больший ресурс зонда атомно-силового микроскопа. Кроме того, восстановление зонда после изнашивания является экономически выгодным. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20.

МПК / Метки

МПК: G12B 21/08, B82B 3/00

Метки: микроскопа, атомно-силового, зонд

Код ссылки

<a href="http://bypatents.com/2-u3004-zond-dlya-atomno-silovogo-mikroskopa.html" rel="bookmark" title="База патентов Беларуси">Зонд для атомно-силового микроскопа</a>

Похожие патенты